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全场先是鸦雀无声,紧接着几乎所有人都拧起了眉。
世界最顶尖的AL公司连NA
光刻机的试作机都没组装成功过,这人竟然在黑板上写什么?量产??
这个站在主讲台上的小子,怕不是在痴人说梦。
前排落座的都是华科院和工程院的教授,他们虽然保持着学者风度没有说什么,但来时满心的期望却尽数化为泡影。
但想想至少他们现在可以看到Euv工件台的详细构造图纸,这样也算聊以慰藉。
眼见有几个人已经起身准备要走,谢无咎这边却郑重的对孔任骞道:“很多事小顾都只讲一遍,你一定要仔细听。”
说完他就直接看向了主讲台,可怜孔任骞看着总裁的侧脸,几度欲言又止,但又不知道该怎么说。
就在越来越多的人站起身时,顾悸的嗓音终于徐徐响起。
“AL公司在提出了NA光刻机的概念后,为什么至今还没有试作机的影子?”他手里的笔在黑板上敲了敲:“因为他们还没有从根本上解决1nm晶体管的制造问题。”
话音落下,孔任骞扶额长叹一口气,因为顾悸刚才说的就是一句废话。
看到顾悸从外套口袋再次拿出那个多面体时,谢无咎的腰顿时坐的更直了。
“但其实这个问题很好解决。”
湛蓝色的多面体被抛向半空,在全息图影展开的瞬间,所有室内光竟然自动变暗。
“FIN纳米片。”随着顾悸的手势,纳米片的组件以3D的形式在半空中迅速扩展开来。
“它们可以保证晶体管的持续微缩,并且具有一定的稳定性。”
除了谢无咎,其他人都仰起头满目震诧的看着全息图影。
一名电子学教授在看完构造后:“可是H国研究出的5nm纳米片,已经是目前的极限了。”
“没错。”顾悸扬唇一笑:“所以我要做的不是这些垃圾。”
他右手微动,一副全新的纳米片构造再次展现在众人眼前:“GAA纳米片,使用应变硅锗替代原沟道材料,以最少的成本达到最高的电子迁移率。”
化学教授举手:“但是硅锗会使模块凹陷,造成纳米片的性能失效。”
这也是为什么刚才电子学教授说5nm就是极限的原因,因为这个问题根本无法解决。
顾悸不紧不慢的回答道:“所以我同步变更了横向蚀刻工艺,用电介质内部间隔层替代外延层。”
每次他提出一个新的概念,全息投影都会同步进行演示。
看到这个答案,有两名教授竟同时拊掌,然后一边快速记录一边喃喃自语:“原来是这样……对没错,就该是这样!”
此时,众人看向主讲台上的目光已经发生了巨大的变化,有些人已经开始奋笔疾书,而没做记录的人则无比期待这位年轻人讲到他们的学科领域。
没想到震惊之后还惊喜,只见顾悸抬手一划:“其实还有另一种解决方法,就是用带有薄硅纳米片芯的硅锗覆层替代原先的结构,但是讲起来麻烦,所以就用第一种吧。”
孔任骞第一种还没记完,第二种就消失了。他急的额角生汗,看向总裁的眼中满是求救信号。
结果谢无咎却无奈的摊开右手:“我早就跟你说了,他真的只讲一遍。”
孔任骞眼泪都差点下来了,但他还来不及哭,顾悸就开始了下一个问题的讲解。
“关于晶体管在芯片上的循环再生系统,我们以后有时间再说,现在来看怎么提高光刻机的NA值。”
晶体管还能循环再生??
工程院的几位老教授急的嘴巴都打颤,他们想说现在就有时间,听三天三夜都行,但他们又不能打断这位年轻人的节奏,毕竟现在光刻机的核心技术才是重中之重。
顾悸早上九点到场,就这么一直讲到了深夜,所有人都听的无比专注,丝毫不知饥饿和疲惫。
为了防止泄密,所有人包括葛院长在内都只能用纸笔记录。
“制造光学系统是光刻机最关键的核心之一,以我刚才展示的部件优化方案,我们完全可以绕过他国的技术专利,做出更好的零组件。”
听着台下一片簌簌的写字声,顾悸忽然关闭了全息投影。
“各位,我们华国每年芯片的进口额高达3000多亿美元,相当于可以购买75艘尼米兹级航母,但外国的那些生产商一边赚我们的钱,一边又要卡我们的脖子。”
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