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第140章 晶圆切割裂纹异常（第2页）

“不瞒你说，220μm的晶圆我们也量测过，翘曲度在200μm左右！”谢工回答道。

这么说问题的根源就是晶圆的翘曲度了！

如何降低晶圆减薄之后的翘曲度呢？

辛佟灵光一闪，突然想起了斯米克晶圆厂的张凯峻，这个毕业于青华大学的晶圆工程师肯定知道。

他掏出了波导手机，手指点击了几下，给张凯峻发了一个短消息。

“这么分析下来，晶圆切割裂纹的问题已经锁定到了减薄工序！”罗高工说道。

“是的！”谢工点了点头。

“减薄工序怎么会带来这么大的应力啊？”罗高工反问道。

“这个回去还要从4M1E的角度排查一下！”谢工回答道。

“谢工，你们减薄使用的磨轮金刚砂颗粒直径是多少？”辛佟抬起头来问道。

金刚石颗粒直径？这问题好专业啊！辛佟没有干过减薄，他是怎么知道的？罗高工无比惊讶，难道辛佟是一个工艺天才？

姜华也非常震惊，老同学跟天王级别的高手讨论起工艺问题，竟然一点儿也不落下风啊。

“目前我们减薄分两次研磨，粗磨使用325#的磨轮，精磨使用900#的磨轮，换算下来，粗磨的金刚砂颗粒直径为44μm，精磨的金刚砂颗粒直径为15μm。”谢工对自己管控工序的工艺了如指掌。

辛佟“喔”了一下，手指在手机上一阵翻飞，将信息发给了张凯峻。

“辛经理问得对，我也觉得减薄的问题可能跟磨轮的选择有关！”经过辛佟的点拨，罗高工好像得到了某种启示一般。

“我也这样怀疑！”谢剑风说道。

“粗磨选用325#的磨轮，没有错，不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右，粗糙度约为1.5μm，精磨使用900#的磨轮，其损伤层大约为5μm左右，粗糙度约为0.5μm，这样的高低不平纹路，会造成应力集中，使后续工艺划片产生裂纹，我建议精磨采用2500#磨轮试试，假片做完之后测量一下翘曲度，如果翘曲度小于200μm，你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。

这个辛佟真是太逆天了，对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊，罗高工听了直点头，说道：“很好！”

“好的，辛经理，我们按照你的要求再做一些假片验证！”谢剑风点了点头。

他之前跟辛佟没有交集，不过听说过这个人，总觉得辛佟升职太快了，真没有想到他竟然如此专业，今日一见，佩服得五体投地。

看着工程部老大和WS天王对辛佟的分析连连点头，姜华也惊呆了，这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了？

关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊！

昨天去减薄看了一眼，他就无师自通了？

从会议室里出来，姜华拉住了辛佟，忍不住问道：“老同学，你不是干键合出身的吗？怎么对减薄也这么精通？”

辛佟笑了笑，要不是刚才咨询张凯峻，他也一头雾水。

不过，他不想将这件事告诉姜华，就随便忽悠道：“键合工序是王者工序，你干了键合再看其他工序，都很Low了。”

不是说隔行如隔山吗？

老实说他姜华统管FOL所有生产工序，也看过减薄、切割、装片和键合，发现不同的工序之间差异其实还挺大的。

“是吗？”姜华心中是将信将疑。

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