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第八十九章 第二代光刻机诞生（第1页）

赵烨给这台光刻机设计的光刻机运动系统，是利用了杠杆原理来实现的。

毕竟现在这台机器还是几乎是纯手动，赵烨利用精密的丝杆，再带精密齿轮组，把底座的运动距离，放大了很多倍，这样才能实现光刻机外面设置的手轮，转动一圈，底座按照设计位移两微米。这几乎是这个时代的极限了。

这样的手轮在光刻机的操作台上有七个，分别控制底座不同的运动路径。等到这套系统被安装完毕后，几个专家立即就进行测试。测试的工作比安装还要慢，等测试的工作完成后，整个地下室都响起了热烈的掌声。

“太不可思议了，太伟大了！这简直就是奇迹！”负责测量的人员，都猛烈的拍着巴掌，对这些高级技工，报以热烈的掌声。

这些精密加工，都是赵烨这几个人，一点点的用手完成的。最后的移动精度，震惊了精密测量专业的专家。

要实现如此精密的位移，这一点儿都不简单。

掌声停止了，工作照常进行。

一些测量用的设备，一些被拆除了，还有一些被保留了下来。然后就轮到透镜组进行安装了。

赵烨还有几个过来支援的高级钳工，一步步，一点点的把整套系统安装完毕，整整用了一个星期，第一台设备才算是正式诞生并通过了检测。

众人无不激动的掉泪，这几乎就是国家精密仪器的代表之作！在此时此刻，它甚至可以说是全世界最精密的仪器之一都毫不过分。

众人激动过后，就是合影留念。唯一还没有露出笑容的，只有一个泉教授。

“泉教授，明天就是试生产了，成败可就看你的灯泡了！”没等赵烨上前说话，慈教授就已经拉着泉教授说了这么一句话。搞的泉教授更加紧张了几分。

“争取一次通过，争取！”泉教授可不敢把话说的太满，说实话，他是真的心里没底的。

赵烨一见对方这么说，也就没有过去再说什么，人家已经这么紧张了，自己就不去给人施加压力了。

这个时候，无论你说什么安慰话，反馈到对方脑子里的，都是无形的压力。

赵烨从地下车间走出了，就去看硅锭的处理了。

此时的硅锭，已经从一开始的30MM直径，扩大到了50MM左右了。生产这个硅锭的是沪上一家工厂。他们在赵烨提供的一些资料的帮助下，成功做出了这种规格的硅锭。硅锭的纯净度虽然还有待提升，但是至少是能用的了，无非良品率低一些。

不过有赵烨这个BUG在，少量的硅锭他还是能处理的。

赵烨在切割好的硅晶片上一阵寻摸，一会儿拿起这个，一会儿又拿起那个。外人以为他是观察切割的质量，可是没人知道，他是在处理晶圆。

总不能真的按照真是的成品率来吧？那也太折磨人了。这经过一下他的手，成品率一下就上来了。要是有人问为什么，那就是赶上了，巧合了，对方生产用心了。

还有一点，现在的晶圆直径还是很小，但赵烨他们的加工精度又远远不够，那么赵烨等人放弃了把晶圆切成一个矩形的思路，而是把芯片做成一个圆形。

可是圆形也有圆形的弊端，最主要的一个就是，无法分辨方向和位置。这在加工和使用的时候，非常的不方便。

赵烨于是就想了个办法，既然正圆不行，那就给它一刀好了。于是就有了现在的晶圆，每一片都确实了一个三十度的弧，就是把这整个截面的个扇形区域，变成一个三角形。

这样，却了一块儿的这边就是正上方，除此之外，为了定位的需要，在这个直边和他的下方，还开了三个不同形状的小缺口。这样一来让加工的各个环节都能清楚的知道这个晶圆的正反面和方向。

第二天吃过了早饭，浩浩荡荡的几十人都来到了地下车间，大家都想见证一下，第一块这么大规模的集成电路的产生。甚至**日报还派来了专门的摄影记者，一个摄像机和照相机，分别架在里光刻机的一边。

赵烨和马华一组，第一个开机试生产。照相机清楚的记录下赵烨拿起的第一块硅晶片。

既然是试生产，电路的设计其实并不是很复杂。不过为了验证一些技术，局部地方被设计的还是比较精细和复杂的。可即便是这样，这一组用来测试的三十块晶圆，还是用了整整一天的时间，才从这个车间走出去。

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