手机浏览器扫描二维码访问
因为激光器安装运行需要的环境很苛刻,所以都是整合成为了一个部件。
而之前走南闯北,李由等人也将目前大夏主流的几个光刻机看了个遍,摸了个遍,早已是胸有成竹。
经历过人情冷暖的中年人可不像涉世未深的小年轻,不会轻易因为他人不理解产生的质疑而愤怒。
用产品打脸才是最让他们暗爽的事。
“既然贵司准备好了适配,我们实验室有这个型号的机器,就让我们拭目以待吧。”
赵兴夏接着又补了一句:“先签个合同,以免实验过程中出现意外,造成大家不必要的损失,没问题吧?”
“自无不可。”
顾青笑着答应了下来,他当然是理解对方的。
光刻机虽然没有某些跑车贵,但却比跑车难造,弄坏一台都是血亏。
他们半导体部门的队伍去其他厂家调整适配光源设备的时候都是交了一笔试验费用和保证金的。
甚至法务部都做了几份相关合同模板出来。
签了合同,赵兴夏才带着顾青一行人走到另一个研究室。
对于已经建好的光刻机工作间,每一次实验都是非常昂贵的。
穿上堪比防护服的白色工作服,李由等人带着数个光源设备部件进入了光刻机的超洁净工作间。
赵兴夏看着这几人很是熟练的打开光刻机系统,将光源设备更换后,又很熟练的分成两队。
李由这一队坐在一旁的电脑工作台上手指飞舞调整参数,张岩泰则带着自己这一队在光刻机的激光调整、能量控制器这些地方进行调整。
虽然光源设备是适配这个光刻机的,但是有很多小问题是需要处理的,不然别说芯片造不出来,光刻机损坏都是很正常的。
工作了大半天后,李由与张岩泰一起审查了一遍,这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。
“赵教授,实验就要开始了。”顾青提醒道。
赵兴夏点了点头。
不论是近紫外(NUV)激光还是深紫外(DUV)激光,又或者最高端的极紫外光EUV。
它们都有个紫字,并非是很深奥的问题,因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。
九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源,为这个分辨率90nm的S1A60020光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。
光源设备运行,激光器发射出来的深紫外光
经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。
曝光台上放置着一张8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。
半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的,但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。
“这,这,这……”
“这居然是真的,国产DUV光源?我不是在做梦吧,老赵。”
“纯净度极为优秀”
刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机,嘴巴不自觉张大,眼神有些涣散。
李由作为一个有家室的中年人,很是照顾后辈。
他走到这人身旁,拍了拍他的肩膀。
“回回神,这才刚开始。”
“啊?啊?什么开始?你们可以把这个光源卖给我们吗?现在就可以用我们国产的光源了吗?”
人生模拟器:我开启了人生简单模式 炎皇帝国 全民御卡:开局刻画奕星(我用弈星镇压神明) 美综大枭雄 网游:开局获得超神级隐藏职业 艾泽拉斯无双割草 末世小老板 漫威之超级英雄之父 我绑定了悦来客栈 诸天私人梦游 女人三十 某美漫的医生 八岁陪玩:从带飞皮克桃开始!(萌崽陪玩从带飞皮克桃开始) 诡秘世界的修仙者 重生的明星作家 奥术光辉,闪耀永恒 三国神话世界 开局签到孙悟空,我无敌了 影视万物收集员 黑暗禁忌游戏
记者作为世界最强的英雄联盟战队美女军团战队的队长,请问李队长有什么要跟大家说的吗?李安既然你诚心诚意地请教了,那我就大发慈悲的告诉你们,美女军团战队只收妹子,只收漂亮的妹子!记者可是李安队长,你是男的啊!李安淡定地摸了摸鼻子队长就像召唤师峡谷的大龙一样,是吉祥物。记者这是一个前世卖肉松饼的钻石主播李安穿越到一个英雄联盟统治世界的平行时空,称霸英雄联盟界,重生收美的故事。...
(2012年10月27日10点28日全文免费阅读)曾经的强者,因为一张关乎诸神秘密的神秘地图,穿越到了斗灵魂兽的世界。穿越之后却因为觉醒的灵魂兽乃是斗魂...
无尽天宇外,永恒未知处,一座漆黑的魔殿,伴随无数时光碎片飞舞,在黑暗中不断沉浮陨神大陆,神秘少年穆云横空出世,在他前行的路上,一个个远古遗谜纷踏而来,只存在于神话的传说,不该出现的人,无尽岁月前的天外大战看少年如何克服重重阻碍,拳战九天,脚踏九幽,力镇诸敌,逆行伐仙!...
百年后地球随着能源的枯竭,新能源的再造失败,人们陷入恐慌与混乱当中,随着绝望第三次世界大战正是开始,核弹作为人类终极武器终于登上了战场,所有国家的核弹全部爆发,地球顿时陷入毁灭状态之中,某个嚣张的岛国首当其冲消失在历史长河中,全球侥幸存活下来的人们受到核辐射的感染,体内基因开始变异,同样活下来得动物也开始了突变。网编若容邀请驻站...
天禧五年初,有神鸟现世,其色银白,两翼吞吐烟火横空而行,坠于京城之西。北宋天书野录 神鸟?这玩意怎么感觉更像是我乘坐的失事飞机?本书主角李璋...
...